[发明专利]成膜装置以及电子器件的制造装置在审
| 申请号： | 201911161941.2 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111434797A | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 铃木健太郎 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;C23C16/04;C23C16/458;C23C16/54 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够提高成膜精度的成膜装置以及电子器件的制造装置。成膜装置是具有真空容器(21)的成膜装置(11)，其特征在于，真空容器(21)具备：多个真空容器部(第1真空容器部(211)和第2真空容器部(212))；以及设置在多个真空容器部之间(第1真空容器部(211)与第2真空容器部(212)之间)的可伸缩构件(213)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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