[发明专利]气体喷淋头的清洗方法在审
| 申请号： | 201911166034.7 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112831793A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姜勇;王家毅 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/19 | 分类号： | C23G1/19;C23G1/08;C23C22/73;C23G1/24 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种沉积有沉积物的气体喷淋头的清洗方法，沉积物包括镓(Ga)、镁(Mg)、铝(Al)或铟(In)中至少一种元素，清洗方法包括：将气体喷淋头放置在氢氧化钠碱性溶液中清洗；将气体喷淋头放置在硝酸和氢氟酸的酸性混合液中清洗；将气体喷淋头放置在硝酸酸性溶液中清洗；在进行碱性溶液清洗、酸性混合液清洗或酸性溶液清洗的步骤之前或之后进行去离子水清洗。在经过碱性溶液清洗、酸性混合液清洗及酸性溶液清洗的气体喷淋头，其上沉积物被有效清除，而被重新使用。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 喷淋 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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