[发明专利]超高真空分析检测装置的减振系统有效
| 申请号： | 201911174754.8 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110873149B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 刘大猛;庞华;房亮;王冲;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | F16F15/03 | 分类号： | F16F15/03;F16F15/04;G01N19/00 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 黄利萍;原春香 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空分析检测装置的减振系统，其分析检测装置和所述超高真空管道安装在气浮光学平台上方，真空抽送系统安装在气浮光学平台下方，真空抽送系统的部分结构与地面连接，超高真空管道上设置有快拆接口，超高真空管道中间设置有双波纹管连接段，分子泵采用一拖三的方式，超高真空样品腔内具有弹簧‑电磁阻尼复合减振系统，通过上述复合、系统化减振，可降低装置的振动幅度，满足超高真空分析检测装置对振动幅度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 分析 检测 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911174754.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种桥梁高墩柱混凝土养护控制装置
- 下一篇：一种纱网加工用折弯设备
