[发明专利]冷却管组件、冷却装置和等离子体处理设备有效
| 申请号： | 201911174960.9 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112951695B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 龚岳俊;黄允文 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有释放静电功能的冷却装置及冷却管组件。所述冷却装置包括基板、射频屏蔽板、冷却管连接器、高电阻冷却管及金属冷却管。基板中设置有冷却通道。射频屏蔽板设置在基板的下方。冷却管连接器设置在射频屏蔽板中，在射频屏蔽板的上表面和下表面分别具有冷却管连接器的第一端和第二端。高电阻冷却管的一端与基板中的冷却通道连接，高电阻冷却管的另一端与冷却管连接器的第一端连接。金属冷却管的一端与冷却管连接器的第二端连接，金属冷却管的另一端接地。本发明通过高电阻冷却管的高电阻特性避免因静电电荷而产生电弧现象，另一方面通过冷却管接地而将静电电荷导走，从而降低静电吸盘失效的机率，并提高晶圆移动的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却管 组件 冷却 装置 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司，未经中微半导体设备（上海）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911174960.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
