[发明专利]气体喷淋装置以及化学气相沉积方法有效
| 申请号： | 201911175200.X | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110923669B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王质武 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种气体喷淋装置，包括上下对应设置的通风系统和喷淋系统，所述喷淋系统和所述通风系统通过所述气体喷淋装置的缸体相连接；所述通风系统包括：侧通风通道、旋转机构以及气体挡风板；所述喷淋系统包括：喷淋头。本发明提供的气体喷淋装置，根据扇叶的形状或旋转速度加快气体的气流速度，提升了气体的混合均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 喷淋 装置 以及 化学 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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