[发明专利]翻转装置和真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201911181284.8 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110760811B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 金晨;杨卓;李建银 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种翻转装置和真空镀膜设备，该翻转装置包括可翻转的翻转架、相对设置在该翻转架上的两个第一夹紧机构、分别与两个第一夹紧机构连接的两个载台组件以及分别设置在两个载台组件上的两个第二夹紧机构，其中，各载台组件用于承载托盘；两个第一夹紧机构用于分别向两个载台组件的四周边缘处施加压力，以将置于两个载台组件之间的两个托盘夹紧；两个第二夹紧机构用于分别向置于两个载台组件上的两个托盘的指定位置施加压力，该指定位置为与托盘上的基片相对应的位置。本发明提供的翻转装置，其可以避免基片在翻转过程中表面受损或掉落，提高翻转夹紧的可靠性和稳定性，从而可以提高生产效率和产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转 装置 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种翻转装置，其特征在于，所述翻转装置包括可翻转的翻转架、相对设置在所述翻转架上的两个第一夹紧机构、分别与两个所述第一夹紧机构连接的两个载台组件以及分别设置在两个所述载台组件上的两个第二夹紧机构，其中，/n各所述载台组件均用于承载托盘；/n两个所述第一夹紧机构用于分别向两个所述载台组件的四周边缘处施加压力，以将置于两个所述载台组件之间的两个托盘夹紧；/n两个所述第二夹紧机构用于分别向置于两个所述载台组件上的两个所述托盘的指定位置施加压力，所述指定位置为与所述托盘上的基片相对应的位置。/n
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