[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物有效
| 申请号： | 201911181290.3 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111596533B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李荣宰;赵汉爀;金正铉 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其通过包含化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚，从而抗蚀剂剥离效果优异，由此能够使剥离的抗蚀剂所导致的设备内过滤器的堵塞现象最小化，能够防止下部膜质、尤其SiNx下部膜质的腐蚀即损伤。化学式1即(R |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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