[发明专利]一种热丝CVD用钼电极自动清理装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201911185908.3 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110948357A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 刘鲁生;姜辛;黄楠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B1/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于金刚石膜生长领域，具体为一种热丝CVD用钼电极自动清理装置及其使用方法。该装置机座上的一侧设有磨削线固定座，金刚石磨削线的一端通过锁紧螺钉固定在磨削线固定座上；机座上的另一侧设有与磨削线固定座相对应的弹簧固定座，弹簧拉片为条形片状沿弹簧固定座横向均匀排布，每个弹簧拉片通过拉片固定螺钉固定在弹簧固定座上，每个弹簧拉片的一端依次连接有弹簧、弹簧压片一、弹簧压片二、压片锁紧螺栓和金刚石磨削线的另一端。本发明结构简单，通过调速电机带动四爪卡盘夹持钼电极高速旋转，金刚石磨削线被磨削线固定座和弹簧固定座通过弹簧拉紧并紧贴在钼电极的沟槽处，金刚石磨削线对沟槽进行磨削清理，效率高、打磨清理彻底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 电极 自动 清理 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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