[发明专利]一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统在审
| 申请号： | 201911190528.9 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110672662A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 宋巍巍;顾正华;盖文;刘向波;韩杰;梁文清;张文清;顾光武;曾星 | 申请（专利权）人： | 中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所;江苏鸿源动力科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/68 | 分类号： | G01N25/68 |
| 代理公司： | 51288 绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 沈强 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，该方案包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；镜面设置在测量腔内；镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。该方案可以避免由于MFC内部容易存水导致内表面材料缓慢释放水分，影响测量速度和精度。同时通过电伴热升温，减少气路管道内壁材料吸附水份的含量，提高露点测量速度。 | ||
| 搜索关键词： | 测量腔 不锈钢 镜面 出气管道 质量流量控制器 进气管道 出气口 制冷机 连通 进气口 进气口连接 串联安装 缓慢释放 快速测量 露点测量 内壁材料 气路管道 气路系统 影响测量 制冷管路 低露点 电伴热 内表面 存水 冷镜 水份 吸附 | ||
【主权项】：
1.一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，其特征是：包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；所述镜面设置在测量腔内；所述镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；所述不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；所述不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；所述质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。/n
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