[发明专利]一种具有双层结构的无源器件及制作方法

摘要

本发明公开了一种具有双层结构的无源器件及制作方法，其中制作方法包括如下步骤：在晶圆上制作电阻；涂布桥墩光阻，在待制作电感的桥墩处进行显影，待制作电感位于电阻的上方，桥墩处与电阻具有间隙；在桥墩处制作桥墩，桥墩用于支撑待制作电感；涂布桥面光阻，对待制作电感处进行显影，桥面光阻定义电感的形状；沉积金属，在待制作电感处形成电感；去除桥墩光阻和桥面光阻，电感以桥墩为支撑点位于电阻的上方。本发明以桥墩为支撑点将电感承载在电阻的上方，从而形成双层结构的无源器件，最多可节约50％的空间，缩小无源器件体积，利于集成化；其次无源器件体积的缩减可节约成本，提高利润率；再者空气的介电常数小，降低了电感处的寄生效应。