[发明专利]一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备有效
| 申请号： | 201911191281.2 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111430265B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 殷赛赛;程长青;秦俊明 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，所述机台视窗的遮挡装置包括判断模块、分析处理模块以及电机驱动模块，所述判断模块用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态，所述分析处理模块用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号，所述电机驱动模块用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。本发明避免了当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗检查内部组件状态等现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 视窗 遮挡 装置 方法 半导体设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
