[发明专利]光电探测器、调焦调平装置以及光刻投影设备有效
| 申请号： | 201911204078.4 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN112882356B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 毛静超;徐荣伟;庄亚政;孙建超;季桂林 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/06;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光电探测器、调焦调平装置以及光刻投影设备，所述光电探测器包括基底；排列设置在所述基底上的至少两个光电探测组件，用于接收光束；设置在所述基底上的至少一个第一遮挡组件，所述第一遮挡组件位于任意相邻的两个光电探测组件之间，用于抵挡相邻的光电探测组件之间的光束传播；设置在所述基底内的至少一个第二遮挡组件，用于抵挡穿过预定光电探测组件的光束从光电探测组件的下方被反射至相邻的光电探测组件。本发明提供的光电探测器和调焦调平装置的测量精度较高，以及利用本发明提供的光刻投影设备制造出的半导体器件的性能较高。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 探测器 调焦 平装 以及 光刻 投影设备 | ||
【主权项】：
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