[发明专利]排气模块、晶圆处理系统及排放废气的方法在审
| 申请号： | 201911205344.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111346478A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张成根;林钟吉;权炳仁 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D53/00;G03F7/40;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种用于从至少一个具有排气口的晶圆烘烤装置排放废气的排气模块。排气模块包括至少一个管道、加热单元、溶剂分配单元和过滤单元。至少一个管道连接至晶圆烘烤装置的排气口，并且配置成从晶圆烘烤装置排放废气。加热单元连接至管道，并且配置成加热废气。溶剂分配单元连接至加热单元，并且配置成分配溶剂以冷却并溶解废气。过滤单元连接至溶剂分配单元，并且配置成过滤溶剂。本发明还提供一种晶圆处理系统及排放废气的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 模块 处理 系统 排放 废气 方法 | ||
【主权项】：
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