[发明专利]对准误差测量方法有效
| 申请号： | 201911212303.9 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110967948B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 齐月静;杨光华;王宇;李璟;卢增雄;齐威;孟璐璐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种对准误差测量方法，用于测量非对称的第一对准标记引入的对准误差，方法包括：根据非对称位置确定至少四种类型的非对称对准标记，每一非对称对准标记包括一种所述非对称位置，所述第一对准标记包括至少一种非对称位置；测量每一非对称对准标记引入的对准误差分量，以及测量第一对准标记对应的第一测量信号；利用电磁仿真模型分别获取对称对准标记、每一非对称对准标记对应的理论测量信号；根据第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号和对准误差分量计算每一非对称对准标记对应的权重因子；根据每一非对称对准标记对应的权重因子和对准误差分量计算第一对准标记引入的对准误差。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 误差 测量方法 | ||
【主权项】：
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