[发明专利]一种同心锥TEM室场均匀性校准方法有效

专利信息
申请号: 201911214486.8 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN110954754B 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 彭博;黄承祖;刘星汛;齐万泉 申请(专利权)人: 北京无线电计量测试研究所
主分类号: G01R29/08 分类号: G01R29/08;G01R35/00
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 李潇
地址: 100854 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请公开了一种同心锥TEM室场均匀性校准方法,包括:将场强探头放入同心锥TEM室场均匀区中心,记为初始位置;调节TEM室输入频率至下限试验频率,馈入能产生标准场强的恒定前向功率,记录所述初始位置的场强读数和前向功率;保持所述前向功率不变,围绕初始位置,沿不同方向确定第一位置、第二位置、第三位置和第四位置,四个位置形成的区域大小,能够将场强探头包围,且与初始位置场强相差绝对值均不大于设定范围;步进调节输入频率至试验频率上限,重复上述步骤,得到同心锥TEM室场均匀区。本申请填补了同心锥TEM室场均匀性校准方法空白,能够快速、准确地进行场均匀性校准。
搜索关键词: 一种 同心 tem 均匀 校准 方法
【主权项】:
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