[发明专利]晶体管的开启电压的测试方法及测试装置有效
| 申请号： | 201911220213.4 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111220888B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王明 | 申请（专利权）人： | 海光信息技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 300384 天津市天津华苑产业*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶体管的开启电压的测试方法及测试装置。该测试方法包括：获得第一测量开启电压以及检测目标电流；对晶体管的源漏电流进行多个测试步骤，其中，多个测试步骤每个包括：对栅极施加测量电压，在源极和漏极之间施加源漏电压的同时，测量源极与漏极之间的测量电流，其中，多个测试步骤的多个测量电压彼此不同，源漏电压在多个测试步骤中保持不变，且在第一个测试步骤中采用第一测量开启电压作为测量电压，多个测试步骤的多个测量电流所构成的测量电流区间覆盖检测目标电流；以及基于多个测量电流获得晶体管的开启电压。上述测试方法可以提高开启电压的测试精度以及在同等测试精度下减少测试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 开启 电压 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
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