[发明专利]加热装置及温度控制喷淋组件有效
| 申请号： | 201911226243.6 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111001503B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 戴佳卉;王·苏格里高利;吴凤丽 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/24 | 分类号： | B05B1/24;B05B12/10;H01R13/6581;H01R13/6591 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 陈福昌 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种加热装置，用于一电浆处理半导体制造装置。该加热装置包含：至少一加热导线，延伸于一射频讯号的涵盖范围中；一电源供应器，提供一电力讯号至该至少一加热导线；及一温度控制器，至少基于一默认温度控制该电源供应器。该至少一加热导线由至少一屏蔽组件包覆，用以屏蔽该射频讯号，避免该射频讯号电耦合至该至少一加热导线、该电源供应器和该温度控制器中。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 温度 控制 喷淋 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于拓荆科技股份有限公司，未经拓荆科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911226243.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
