[发明专利]金属掩膜板的表面处理方法在审
| 申请号： | 201911228907.2 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110863175A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 马得贵;肖舒 | 申请（专利权）人： | 深圳市腾深显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/24;C23C14/35;C23C16/04;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 518054 广东省深圳市南山区招商*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种金属掩膜板的表面处理方法，所述金属掩膜板用于柔性OLED封装中，所述表面处理方法包括：采用氯化氢溶液清洗金属掩膜板的表面；对清洗后的金属掩膜板进行水洗，并采用热风对水洗后的金属掩膜板进行烘干；采用脉冲式磁控溅射方式对烘干后的金属掩膜板进行镀膜，并在金属掩膜板的表面形成一薄膜；取出镀膜后的金属掩膜板，并进行静置冷却。本发明通过采用脉冲式磁控溅射方式，在金属掩膜板的表面进行制备薄膜，该薄膜能够隔绝腐蚀介质对金属掩膜板的腐蚀，隔绝电弧导通金属掩膜板。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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