[发明专利]一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置有效
| 申请号： | 201911230674.X | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110846631B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 易立;张朝晖;张军杰;魏玉飞 | 申请（专利权）人： | 长利玻璃洪湖有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王立普 |
| 地址： | 430090 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，包括龙门架、靶材放置小车和卷扬机，在换靶小车两边铺设有预埋轨道，龙门架的底部滑动放置在两侧的预埋轨道上，卷扬机安装在龙门架的顶梁上并可沿顶梁滑动，卷扬机传动端通过吊带连接有吊钩；靶材放置小车通过连接杆固定在龙门架的一侧并随龙门架一起移动，靶材放置小车用于放置旧靶材。本发明中辅助更换磁控溅射旋转靶材的装置，在更换旋转靶材的操作过程中，无行车因更换旋转靶材需在换靶小车工位长时间停滞现象，换靶效率大大提高，停机维护总时长缩短约50％，延长了生产线的有效生产时长，可为企业创造更多产值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 更换 磁控溅射 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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