[发明专利]单晶炉自动定量真空加料系统在审
申请号: | 201911232492.6 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN110777426A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 黄蕾;包应正 | 申请(专利权)人: | 无锡港晖电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐,所述储料罐的上端设置计量仓,所述计量仓的上方设置加料仓,所述加料仓的侧面卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接储料罐,所述加料仓的顶部卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接过滤器,所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵,所述储料罐内设置主料加料模块,所述计量仓内设置小料加料模块,所述加料仓内设置真空上料模块,所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器,所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料,可以稳定,可靠的满足单晶硅棒生产的要求,实现了经济、高效。 | ||
搜索关键词: | 加料 加料仓 吸料管 卡接 储料罐 计量仓 过滤器 上料模块 单晶炉 小料 主料 电性连接控制 真空加料系统 单晶硅棒 电性连接 定量加料 旋涡气泵 自动定量 连接管 上端 储料 连通 侧面 生产 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐(1),其特征在于:所述储料罐(1)的上端设置计量仓(2),所述计量仓(2)的上方设置加料仓(3),所述加料仓(3)的底部设置第一气动真空蝶阀(4)和第二气动真空蝶阀(16),所述加料仓(3)的侧面卡接吸料管(5),所述吸料管(5)的另一端卡接储料罐(1),所述加料仓(3)的顶部卡接吸气管(7),所述吸气管(7)的另一端卡接过滤器(8),所述过滤器(8)通过连接管(9)连通旋涡气泵(10),所述吸料管(5)和吸气管(7)的一端及与加料仓(3)连接的一端均设置控制阀(11),所述储料罐(1)内设置主料加料模块(12),所述计量仓(2)内设置小料加料模块(13),所述加料仓(3)内设置真空上料模块(14),所述主料加料模块(12)、小料加料模块(13)和真空上料模块(14)均电性连接PLC控制器(15),所述PLC控制器(15)电性连接控制屏(6)。/n
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