[发明专利]渐变色U型镀膜生产方法在审
| 申请号： | 201911239116.X | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN112921286A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;陈立;唐洪波;唐莲;薛闯;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了渐变色U型镀膜生产方法，所述渐变色U型镀膜生产方法应用于U型镀膜生产线，所述U型镀膜生产线包括两平行设置的传送流水线和一镀膜腔室，两传送流水线通过镀膜腔室相连，所述镀膜腔室内包括一基片架停靠站、靶材和旋转阴极，所述立式基片架位于基片架停靠站，所述靶材竖立于立式基片架和旋转阴极之间。形成半环形流水线，节约占地面积，整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制，节约人力物力，提供生产效率，镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加，整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求，使用寿命延长，节约资源。 | ||
| 搜索关键词： | 渐变 镀膜 生产 方法 | ||
【主权项】：
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