[发明专利]一种晶圆检测设备在审
| 申请号： | 201911240574.5 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110887845A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 唐涛 | 申请（专利权）人： | 唐涛 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518033 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆检测设备，其结构包括支脚、箱体、控制键盘、显示屏、报警器、检测室、动力箱，箱体底部焊接有支脚，箱体外侧连接有控制键盘、显示屏，箱体底部设有动力箱，检测室设在动力箱上方，检测室内设有转向装置，转向装置包括缩径装置、固定装置、移动装置、圆盘，圆盘设在缩径装置中心，移动装置设有3个分别安装在圆盘的正西、正南、正东方向，固定装置安装在圆盘的正北方位，本发明的有益效果是：利用晶圆的平缺口对晶圆的方向进行统一，使视觉检测时更加直观，无法进行方向旋转变化，提高检测准确率和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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