[发明专利]一种高阻抗膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201911243381.5 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110885967A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 夏伟;张兵;郑建军;张成金;姚仕军;方添志;赵帅 | 申请（专利权）人： | 天津美泰真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 天津合正知识产权代理有限公司 12229 | 代理人： | 马云云 |
| 地址： | 301609 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种高阻抗膜的制备方法，该方法包括如下步骤：采用磁控溅射法在玻璃基板上镀膜，所用靶材为含铟复合材料，溅射室的压强抽到1.5‑3.5×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 阻抗 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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