[发明专利]圆顶应力隔离层有效
| 申请号： | 201911251108.7 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN111288247B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | L·布恩卡特;Y·杨;R·乔德里;A·坎古德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16L59/02 | 分类号： | F16L59/02;F16L59/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文所述的实施方式涉及用于工艺腔室中的机械隔离和热绝缘的装置和技术。在一个实施方式中，绝缘层被设置在圆顶组件和气体环之间。绝缘层被配置以维持圆顶组件的温度并且防止从圆顶组件到气体环的热能传递。绝缘层提供圆顶组件与气体环的机械隔离。绝缘层还在圆顶组件和气体环之间提供热绝缘。绝缘层可由含聚酰亚胺的材料制成，所述材料大幅地降低绝缘层变形的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 圆顶 应力 隔离 | ||
【主权项】：
暂无信息
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