[发明专利]一种料盘脱胶摆盘工艺在审
| 申请号： | 201911253376.2 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN111014161A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 张威 | 申请（专利权）人： | 东莞市日和自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市道滘镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片脱胶技术领域，具体涉及料盘脱胶摆盘工艺，包括如下步骤：步骤1，将料盘放置到料槽进行一次浸泡脱胶；步骤2，完成一次浸泡后放置到另一料槽进行二次浸泡脱胶；步骤3，将料盘取料进行干燥；步骤4，完成干燥后将料盘抓取翻转放置在吸附平台；步骤5，吸附平台通过真空负压将料盘上的晶片吸附；步骤6，将吸附平台上晶片抓取摆放到治具，完成脱胶摆盘；本发明采用了双重浸泡结构，使得硅晶片上的胶脱落更彻底，在经过干燥后通过真空吸附即可完成晶片的分离，能够大大提升生产效率；同时本发明还采用了自动取料摆盘工艺，节省了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脱胶 工艺 | ||
【主权项】：
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