[发明专利]一种光学微电机传感器、基板及电子设备有效
| 申请号： | 201911259052.X | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110954142B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 任锦宇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/28 | 分类号： | G01D5/28;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李欣 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学微电机传感器技术领域，公开了一种光学微电机传感器、基板及电子设备，该光学微电机传感器包括基板、环形基底、微镜本体和驱动电路，其中，环形基底上形成有包括第一电极的多个凹槽组、用于移动微镜本体的第二电极、用于使微镜本体翻转的第三电极；微镜本体设有伸出轴以及用于与第三电极配合的第四电极组，当两个伸出轴旋转地设置于凹槽组内、第四电极组分别与第三电极在交错排列与分离之间切换时，微镜本体处于翻转工位；当两个伸出轴分别与第二电极接触、多个第四电极均位于环形基底背离基板的一侧时，微镜本体处于换位工位，该光学微电机传感器实现了微镜本体沿不同方向的翻转轴进行翻转以实现多维扫描，且结构简单、控制方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 微电机 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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