[发明专利]一种砂浆罐、切割装置及晶棒的切割方法有效
| 申请号： | 201911259537.9 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110900860B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 郑秉胄 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D7/04;B28D5/04;B24B27/06 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种砂浆罐，包括砂浆罐本体；分离装置，设置于所述砂浆罐本体的底部，用于分离研磨剂和微粉颗粒；固定装置，设置于所述砂浆罐本体的外侧侧壁上，用于对与所述研磨剂分离的所述微粉颗粒进行位置固定。本发明在晶棒切割时，为了防止切割晶棒时所产生的微粉颗粒随着砂浆作用于晶棒上，通过在砂浆罐本体的底部安装一分离装置，从而将流入砂浆罐中的微粉颗粒与砂浆中的研磨剂分离开，并利用砂浆罐本体外侧侧壁上的固定装置使得分离开的微粉颗粒的位置固定，利用这种方式阻止所产生的微粉颗粒流入至切割中的晶棒中，从而避免了微粉颗粒损坏硅片的平坦度，改善了硅片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砂浆 切割 装置 方法 | ||
【主权项】：
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