[发明专利]全封闭石英晶片清洗机在审
申请号: | 201911265146.8 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN110882997A | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 刘兴波 | 申请(专利权)人: | 珠海东锦石英科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 王贤义 |
地址: | 519000 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种全封闭石英晶片清洗机,旨在提供一种清洗效果好的全封闭石英晶片清洗机。本发明包括机箱,所述机箱中设置有漏水板、废水回收模块及三个顶升机构,所述漏水板上设置有药剂清洗水池、喷洗水池及清水水池,所述废水回收模块位于所述漏水板的下方,且与所述药剂清洗水池、所述喷洗水池及所述清水水池配合,所述顶升机构的下端配合设置有晶片放置篮,三个所述晶片放置篮分别与所述药剂清洗水池、所述喷洗水池及所述清水水池配合。本发明应用于石英晶片清洗机的技术领域。 | ||
搜索关键词: | 封闭 石英 晶片 清洗 | ||
【主权项】:
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