[发明专利]全封闭石英晶片清洗机在审

专利信息
申请号: 201911265146.8 申请日: 2019-12-11
公开(公告)号: CN110882997A 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 刘兴波 申请(专利权)人: 珠海东锦石英科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 王贤义
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种全封闭石英晶片清洗机,旨在提供一种清洗效果好的全封闭石英晶片清洗机。本发明包括机箱,所述机箱中设置有漏水板、废水回收模块及三个顶升机构,所述漏水板上设置有药剂清洗水池、喷洗水池及清水水池,所述废水回收模块位于所述漏水板的下方,且与所述药剂清洗水池、所述喷洗水池及所述清水水池配合,所述顶升机构的下端配合设置有晶片放置篮,三个所述晶片放置篮分别与所述药剂清洗水池、所述喷洗水池及所述清水水池配合。本发明应用于石英晶片清洗机的技术领域。
搜索关键词: 封闭 石英 晶片 清洗
【主权项】:
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