[发明专利]一种研磨盘平行度调节装置及方法有效
| 申请号： | 201911273746.9 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110877285B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 冯红旭 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/34;B24B47/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨盘平行度调节装置及方法，所述研磨盘包括正对设置的上研磨盘和下研磨盘，所述装置包括：竖向设置于所述上研磨盘和所述下研磨盘之间的至少三根压力杠杆，所述至少三根压力杠杆的一端抵设于所述上研磨盘的盘面，另一端抵设于所述下研磨盘的盘面，且所述至少三根压力杠杆在所述下研磨盘的盘面上的抵设点不共线；设置于所述压力杠杆上的压力检测单元，用于检测所述压力杠杆所承受的压力；设置于所述压力杠杆上的压力调节单元，用于调节所述压力杠杆所承受的压力。根据本发明实施例的研磨盘平行度调节装置，可以快速调节研磨盘的平行度，易于操作，有效降低了调节难度，确保了硅片研磨加工的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 平行 调节 装置 方法 | ||
【主权项】：
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