[发明专利]蒸发装置和方法有效
| 申请号： | 201911276192.8 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111304601B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 乌维·魏纳;米夏埃尔·霍夫曼;安德烈亚斯·穆勒 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞朋;胡彬 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据不同的实施方式，一种蒸发装置(300至800)可以具有：蒸镀区域(224r)；用于以距蒸镀区域(224r)一定间距的方式支承蒸发物的支架(302)；移位设备(304)，所述移位设备设计成将支架(302)相对于蒸镀区域(224r)移位；控制设备，所述控制设备设计成基于参数来操控移位设备(304)，其中参数代表蒸发物距蒸镀区域(224r)的间距。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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