[发明专利]一种透射电镜样品厚度的测量方法有效
| 申请号： | 201911287503.0 | 申请日： | 2019-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN110986802B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 郑春雷;闫志刚 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N23/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 侯艳伟;李洪福 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种透射电镜样品厚度的测量方法，包括如下步骤：步骤一、建立孪晶面的第一模型；步骤二、建立孪晶面的第二模型；步骤三、通过将第一模型和第二模型组合获得孪晶面的第三模型；步骤四、将透射电镜样品放入电镜后，不倾转样品，采集所检测区域的明场图像和暗场图像，通过明场像和暗场像相结合的方式测量出孪晶面的投影宽度；步骤五、将透射电镜样品沿着平行于孪晶面的晶带轴倾转角度，采集步骤四中所述孪晶面在该工况下的投影宽度；步骤六、将步骤四中和步骤五中测量出的孪晶面的投影宽度均代入第三模型中，确定检测区域的样品厚度。本发明可快速精确的测量出透射电镜所检测区域的样品厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 样品 厚度 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于燕山大学，未经燕山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911287503.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
