[发明专利]用于将液体从基板保持件的密封件除去的方法在审
| 申请号： | 201911293312.5 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111349960A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 关正也;高柳秀树;铃木洁;佐竹正行;藤方淳平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/00;C25D21/12;C25D21/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王玮;张丰桥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过将液体从基板保持件的密封件除去，从而能够防止液体与电触点的接触的方法。在本方法中，在使基板保持件(24)的密封件(48)以及电触点(50)与基板W接触的状态下，使基板W浸渍于镀覆液，在存在镀覆液的情况下，在基板W与阳极(26)之间施加电压对基板W进行镀覆，将被镀覆的基板W从镀覆液中拉起，使密封件(48)与被镀覆的基板W分离，在被镀覆的基板W与密封件(48)之间的间隙G1形成从基板保持件(24)的内部朝向外部的气流。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 液体 保持 密封件 除去 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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