[发明专利]感放射线性树脂组合物及微透镜的形成方法在审

专利信息
申请号: 201911299890.X 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN111352301A 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 松村信司;浜口仁 申请(专利权)人: JSR株式会社
主分类号: G03F7/008 分类号: G03F7/008;G03F7/033;G03F7/012;G02B1/04;G02B3/00;G03F7/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 日本东京港*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的目的在于提供一种如下的感放射线性树脂组合物以及使用其的微透镜的形成方法,即使进行140℃以下的加热处理也能够形成具有良好形状的微透镜,且灵敏度、保存稳定性、以及所形成的微透镜的耐化学品性及透明性也良好。本发明是一种感放射线性树脂组合物,含有如下聚合体、及感放射线性酸产生剂,所述聚合体具有:结构单元(a1),含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种;结构单元(a2),含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种;及结构单元(a3),含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基,被用于全部形成工序中的最大加热温度为140℃以下的微透镜的形成。
搜索关键词: 放射 线性 树脂 组合 透镜 形成 方法
【主权项】:
暂无信息
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