[发明专利]探针台故障检测方法及其系统、探针台及其使用方法在审
| 申请号： | 201911302332.4 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112986880A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 邱海斌;严大生;蔡育源 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 贺妮妮 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针台故障检测方法及其系统、探针台及其使用方法，该故障检测系统包括：用于存储设定参数值的存储模块，用于采集实时进度数据值的数据采集模块，数据处理模块和显示模块；数据处理模块用于获取设定参数值及实时进度数据值，并将其对比，并根据对比结果获得探针台硬体部位的具体故障点；显示模块用于显示设定参数值、实时进度数据值及对比结果。采用该探针台故障检测系统，当探针台发生故障时，通过将探针台硬体部位的变量的设定参数值与发生故障时的实时进度数据值进行比较，从而可快速、精确的获得探针台硬体部位发生故障的具体故障点，有效缩短设备当机时间，提高配件更换精度，降低设备维修成本，提高设备利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 故障 检测 方法 及其 系统 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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