[发明专利]振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201911315901.9 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111351479A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木奖悟;志村匡史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5747 | 分类号： | G01C19/5747 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够抑制因施重膜上的加工位置偏差而导致的频率变化量相对于加工量的变动而产生的调整精度的下降。施重膜设置于振动元件的驱动振动臂，具有沿振动臂的延伸方向排列的一对施重膜端部，在施重膜形成有沿振动臂的厚度方向被减薄或去除而成的加工痕。加工痕具有在振动臂的延伸方向上排列的第1加工端部和第2加工端部，第1加工端部在振动臂的延伸方向上与施重膜的任意一方的施重膜端部在俯视时重叠，第1加工端部的宽度比第2加工端部的宽度小。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 元件 制造 方法 物理量 传感器 惯性 测量 装置 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
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