[发明专利](甲基)丙烯酸酯化合物、聚合物、抗蚀剂材料及(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法在审
| 申请号： | 201911317769.5 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111377818A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 猪木大辅;佐藤祯治;林秀树 | 申请（专利权）人： | 捷恩智株式会社 |
| 主分类号： | C07C69/54 | 分类号： | C07C69/54;C07C69/653;C07C67/08;C08F220/32;C08F220/28;C08F220/18;C08L33/14;C08J5/18;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京千代田区大手町二丁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供与其他感光性树脂的相容性优异且可赋予聚合物高透明性的(甲基)丙烯酸酯化合物、聚合物、抗蚀剂材料及(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法。所述(甲基)丙烯酸酯化合物，是由下述通式(1)所表示。 |
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| 搜索关键词： | 甲基 丙烯酸酯 化合物 聚合物 抗蚀剂 材料 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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