[发明专利]气体流通装置、退火炉以及对太阳能电池进行退火的方法有效
| 申请号： | 201911324538.7 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111048451B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 王家儒;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李辉;张昊 |
| 地址： | 321000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及气体流通装置、退火炉以及对太阳能电池进行退火的方法。例如，提供了一种气体流通装置，适于向太阳能电池硅片提供用于退火的气体。该气体流通装置可以包括第一端部，设置有适于接收用于退火的气体的进气口。该气体流通装置还可以包括与所述第一端部相邻的第二端部。该气体流通装置进一步包括弯曲管状主体，位于所述第一端部与所述第二端部之间，所述弯曲管状主体上间隔地设置有多个出气口，该多个出气口适于将所述用于退火的气体传递至将被退火的所述太阳能电池硅片的表面。以此方式，可以提升退火操作的均匀性，使太阳能电池硅片表面上形成的硅化物膜更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 流通 装置 退火炉 以及 太阳能电池 进行 退火 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
