[发明专利]一种蜂窝状球面栅网的制备工艺在审
| 申请号： | 201911335993.7 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110931330A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 湛洪;王鹏康;刘鲁伟 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/14 | 分类号： | H01J9/14;H01J9/16;H01J1/46 |
| 代理公司： | 芜湖金钥匙专利代理事务所(普通合伙) 34151 | 代理人： | 谢建华 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蜂窝状球面栅网及其制备工艺，其步骤方法为：首先对钼制的平面栅网进行光刻，制备蜂窝状栅网，对进行清洗去油；随后同时对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理。无氧铜基座退火温度为500℃‑800℃，保温25min‑40min。钼制的蜂窝状栅网按照小于10℃/min的升温速度，升温至800℃‑900℃，保温30min‑45min，随炉冷却；从炉中取出栅网与铜基座，迅速将栅网与铜基座装入工装，使用液压机按照4‑5MPa/min的压制速度进行压制，保压30‑60s后，缓慢减少液压机的压力，取出工装；对栅网进行刻蚀，制得蜂窝状球面栅网。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蜂窝状 球面 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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