[发明专利]蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法在审
| 申请号： | 201911338368.8 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110923634A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王江南;翟雪晶;陶培培;梁舰;史晓波;冯敏强;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法，属于金属蒸镀技术领域。本发明提供的蒸镀腔室内的监视装置，包括反射部、连接件和摄像机构，连接件被配置为将反射部与蒸镀腔室连接，摄像机构包括摄像头，摄像头能够配合反射部拍摄到蒸镀装置的所有部位。本发明实现了摄像头在蒸镀腔室内对蒸镀装置进行全方位拍摄。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀腔 室内 监视 装置 蒸镀机 方法 | ||
【主权项】：
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