[发明专利]基板对位装置及方法、掩膜板、晶圆基板

摘要

本公开提供了一种基板对位装置及方法、掩膜板、晶圆基板，涉及显示技术领域，用于解决光学对位方式无法实现非透明基板与掩膜板对位的问题。其中基板对位装置包括：掩膜板调节部件，承载并调整掩膜板的位置，掩膜板上设置有镂空结构的第一对位标记；基板调节部件，承载并调整待对位基板的位置，待对位基板上设置有镂空结构或凹槽结构的第二对位标记，第一对位标记的正投影能够覆盖第二对位标记，掩膜板位于待对位基板第一侧；红外光源，用于发出红外光，从掩膜板远离待对位基板的一侧入射，经第一对位标记投射至待对位基板；图像传感器，设置于待对位基板第二侧，获取待对位基板的图像。该基板对位装置用于非透明基板与掩膜板对位。