[发明专利]离线快速检测测试设置准确性的方法有效
| 申请号： | 201911345551.0 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111143211B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 薛来熙;王华;周建青;凌俭波;孟翔 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F11/36 | 分类号： | G06F11/36 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 徐颖;朱月 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离线快速检测测试设置准确性的方法，从集成电路测试时用于承载待测晶圆的设备中的测试参数信息提取出，自动处理后生成一份虚拟的晶圆分布图，作为虚拟测试步骤测试标准，对测试工程师人为编写的与测试机同步的文件，进行离线模拟运行验证，既可以保证文件的准确性，又可以不用线上验证，避免占用测试机资源，影响产能，也能规避验证中容易出现的测试事故。 | ||
| 搜索关键词： | 离线 快速 检测 测试 设置 准确性 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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