[发明专利]一种新型5寸掩模版贴膜工具在审

专利信息
申请号: 201911347730.8 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN111025843A 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 薛文卿;华卫群;季书凤;杨长华;张月圆 申请(专利权)人: 无锡中微掩模电子有限公司
主分类号: G03F1/62 分类号: G03F1/62;G03F7/20
代理公司: 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 谷金颖
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种新型5寸掩模版贴膜工具,包括中央镂空的主体支架、定位兼导向块和压力杆,定位兼导向块分布于中央镂空的主体支架的四周,压力杆设置在主体支架四角上;所述压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应。主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。本发明设计科学合理,操作简单方便,本发明解决了人工使用四根手指来按压掩模基板,取而代之地使用四根压力杆可以在掩模基板四角压力均匀,且不会因手指按压留下痕迹。
搜索关键词: 一种 新型 模版 工具
【主权项】:
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