[发明专利]一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法有效
| 申请号： | 201911353413.7 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN110965130B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 李辉;于君波;丁柏松 | 申请（专利权）人： | 南京晶升能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 211113 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法，提供固定架、工装固定板、定心卡盘、承载线圈的圆环形的线圈定位板、承载线圈定位板的若干线圈定位柱；将下腔室装在固定架上，将工装固定板通过下腔室顶部的圆形凹槽实现定位，再安装线圈定位柱、线圈定位板及线圈，通过定心卡盘锁紧基准柱并使三根基准柱到下腔室中心的距离一致，这时通过测量基准柱与线圈的距离调整线圈的位置，使线圈内壁到任一基准柱的距离相等使线圈中心与下腔室中心重合，即线圈与热场同心，即在线圈调整到与热场同心位置后将线圈拆卸掉安装石英管后通过本发明可精确找到同心位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 长晶炉 电磁 线圈 定位 方法 | ||
【主权项】：
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