[发明专利]WAT设备的测试头及其诊断修复方法有效
| 申请号： | 201911363248.3 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111190091B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张鸣帆;陈炜光 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R35/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种WAT设备的测试头，包括多个测试板和一个测试头主板，测试板安装在对应的滑轨卡槽内。滑轨卡槽的底部设置有弹性弹簧，在弹性弹簧的顶部设置有压力传感器。在滑轨卡槽内还设置有接触式卡槽传感器。测试板安装的底部分别和接触式卡槽传感器和压力传感器接触。接触式卡槽传感器用于检测测试板的状态是否良好。压力传感器用于检测测试板和测试头主板的接触压力是否良好。正常工作时，接触式卡槽传感器和压力传感器保持常亮。当压力传感器报警时，信号管理单元对压力传感器发出复位信号，使弹性弹簧进行拉伸动作实现测试板复位。本发明还公开了一种WAT设备的测试头的诊断修复方法。本发明能对测试头的诊断错误进行自动修复。 | ||
| 搜索关键词： | wat 设备 测试 及其 诊断 修复 方法 | ||
【主权项】：
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