[发明专利]一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机在审
| 申请号： | 201911363846.0 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN110900329A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 刘克村;王新辉;徐公志;尹美玲 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/50 | 分类号： | B24B5/50;B24B29/08;B24B41/06;B24B41/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于硅棒加工技术领域，特别涉及一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，包括机身底座，所述机身底座上沿着晶硅输送方向上设有上下料单元和切割单元。所述上下料单元包括上下料机械手和设置在机身底座一侧上料平台；所述切割单元包括回转工作台、切割组件、绕排线组件、磨削组件和抛光组件；所述上下料机械手、切割组件、磨削组件和抛光组件成圆形布置在所述回转工作台外围。本发明通过将开方、磨削、抛光组件围绕回转工作台设置，所有工序集中在一台设备上，可节省硅棒转运、操作设备的人工成本，增加设备集成化程度，提高加工效率，大大提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回转 全自动 开方 磨削 抛光 一体机 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛高测科技股份有限公司，未经青岛高测科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911363846.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
