[发明专利]一种石英晶片送料装置的扫频驱动装置及方法有效

专利信息
申请号: 201911365700.X 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN111123787B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 郭彬;孔丽微;袁国堂;张林友;郑军;章玮;颜文俊 申请(专利权)人: 浙江大学台州研究院
主分类号: G05B19/042 分类号: G05B19/042
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博
地址: 318000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种石英晶片送料装置的扫频驱动装置,包括直流电源、高压电源模块U2、两个信号发生模块U1和U3、高压运算放大模块U4、电阻以及电容;所述电阻包括可变电阻和固定电阻;所述可变电阻包括动片和两片定片;所述直流电源采用线性稳压电源或者开关电源;本发明采用扫频驱动方法,能够显著克服石英晶片送料装置的机械固有共振频率会随着装载晶片后的重量变化、装置本身机械结构变化、机械部件的磨损等原因造成的漂移问题,同时也能克服驱动电路随着环境温度变化而发生的驱动频率漂移问题,可以显著提高送料装置的工作稳定性和适应性,而且可以满足间歇式送料的需求。
搜索关键词: 一种 石英 晶片 装置 驱动 方法
【主权项】:
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