[发明专利]碱溶性树脂及其制备方法及负型光阻剂组合物在审
申请号: | 201911370442.4 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN111285955A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 王伟;黎敬鹏;丁小卫 | 申请(专利权)人: | 深圳市安立微电子材料有限公司 |
主分类号: | C08F220/06 | 分类号: | C08F220/06;C08F220/32;C08F220/14;C08F220/18;C08F8/14;G03F7/038 |
代理公司: | 深圳市明日今典知识产权代理事务所(普通合伙) 44343 | 代理人: | 王杰辉 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种碱溶性树脂、制备该碱溶性树脂的方法和含有该碱溶性树脂的负型光阻剂组合物。本发明的碱溶性树脂在不同的配方或不同的实验条件下均可以得到感光性、显影性、柔韧性及附着力等性能优异的绝缘透明负型光阻剂组合物。绝缘透明负型光阻剂组合物适用于柔性OLED触摸显示屏,作为电极线路的保护层,具有与高分子透明薄膜基板附着好、抗黄变性、感光度高、显影液耐性、分辨率高以及高透光率等优异性能。 | ||
搜索关键词: | 碱溶性 树脂 及其 制备 方法 负型光阻剂 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市安立微电子材料有限公司,未经深圳市安立微电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201911370442.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。