[发明专利]晶圆转换装置

摘要

一种晶圆转换装置，适用于供第一晶圆载具及第二晶圆载具放置。该第一晶圆载具包含多个第一容置槽，每个第一容置槽适用于容置晶圆。该第二晶圆载具包含多个第二容置槽，每个第二容置槽适用于容置晶圆并具有第一槽部及与该第一槽部相间隔的第二槽部。该晶圆转换装置包含基座、导引单元及顶推机构。该导引单元包括具有多个垂直间隔排列的第一导引槽的第一导引架。该顶推机构可受控以顶推与所述第二容置槽对齐的所述第一容置槽中的所述晶圆，使所述晶圆由所述第一容置槽通过该导引单元的该第一导引架经由所述第一导引槽最终移动至所述第二容置槽内。借此确保晶圆能顺畅地由第一晶圆载具转移至第二晶圆载具而有效提升制程良率及生产效率。