[发明专利]一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构有效
申请号: | 201911374803.2 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111111542B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 钭镔镔;唐炜国 | 申请(专利权)人: | 宁波同兢自动化科技有限公司 |
主分类号: | B01F15/02 | 分类号: | B01F15/02 |
代理公司: | 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 | 代理人: | 黄启行 |
地址: | 315000 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构,包括接收箱,所述接收箱上设置有进料口和出料口,且所述接收箱的顶部连接有净化机构,所述进料口连接有软管且软管的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置,所述对接装置上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架,此用于高纯电子级化学混配装置的上料结构,通过翻转架来承载试剂储存罐,并在装入后由对接装置中的对接管道与罐口连接,接着有锁紧连接装置进行锁紧完成密封,紧接着第二电机带动托盘翻转使储存罐倾斜,试剂由软管进入到接收箱,净化机构通入洁净空气到接收箱内,以便于接收箱接收试剂时与储存罐置换气体,且避免对接装置脱离时通入外部空气,从而使试剂被污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 高纯 电子 化学 配装 结构 | ||
【主权项】:
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