[发明专利]一种高密度金属靶材制备工艺在审
| 申请号： | 201911377170.0 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111004993A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 蔺裕平;韩刚库 | 申请（专利权）人： | 梭莱镀膜工业(江阴)有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/134 | 分类号： | C23C4/134;C23C4/06 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王凯 |
| 地址： | 214437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种高密度金属靶材制备工艺，所述工艺为：将靶材(1)放置于靶材驱动总成上后，先对喷涂密封舱(101)抽真空使得舱内形成压力为2Pa的密闭真空环境；随后，靶材驱动总成启动，驱动靶材旋转的同时进行左右平移，与此同时，等离子喷枪系统(201)的喷枪开始喷涂对靶材(1)进行喷涂；且在喷涂过程中，红外温度传感器(106)对靶材(1)的表面温度实时监测，当温度偏离设定点时，等离子喷枪系统(201)的功率以及其供丝速度随之调整，从而让靶材(1)的表面始终保持微熔状态。本发明一种高密度金属靶材制备工艺，其能够在真空环境下进行喷涂，从而保证靶材的喷涂质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 金属 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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C23C4-18 .后处理
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